ШЕВЛЮКЕВИЧ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к осветительньм устройствам и м.б. использовано при разработке проекционных установок для фотолитографии. Цель изобретения - увеличение поля освещенности с высокой равномер .ностью распределения освещенности. Счет от источника 1 фокусируется коллектором 2 на поверхности тового интегратора 4. Полевая линза 6 передает изображение поверхности светового интеграт...

  Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в проекционных установках экспонирования для микроэлектроники . Цель изобретения - увеличение поля освещения. Изображение входной грани светового интегратор а 4, освещенной источником 1 с помощью коллектора 2, переносится полевой линзой 6во входной зрачок объектива 9, а затем посредством объектива 14 и...

  Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике, а именно в проекционных системах экспонирования. Цель изобретения - увеличение интенсивности излучения в рабочей области спектра при одновременном уменьшении интенсивности излучения в видимой и ИК-области спектра. Для достижения поставленной цели в устройство введены коллективная линза 5, фоку...

  Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов. Цель изобретения - увеличение апертуры и поля зрения объектива и создание телецентрического хода лучей со стороны плоскости предметов. Объектив состоит из девятнадцати линз, собранных в семнадцать компонентов. У...