КОЛОБОВ НИКОЛАЙ АФАНАСЬЕВИЧ

  Изобретение относится к области автоматического регулирования и может использоваться в машинах и аппаратах различного назначения, например в производстве полупроводниковых структур. Цель изобретения - повьшение быстродействия и расширение области применения устройства для дискретного регулирования расхода газа. Устройство содержит корпус в виде о основания 1 с входным каналом 2 и...