ПРОССОВСКИЙ ОЛЕГ ФЕДОРОВИЧ

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Целью изобретения является сокращение времени калибровки за счет использования в качестве подложки дополнительного кварцевого датчика. Способ калибровки кварцевого дятчика,расположенного в измерительной головке автоматической системы контроля толщины тонких слоев, заключается в следующем. Измеряют частоты собственных колеб...