Чаянов Б.А.

  Изобретение относится к измерительной технике и позволяет расширить область применения датчика и повысить его точность за счет помехозащищенноан На подложку 1 нанесены электроды 3 с выводами 5 и металлизированный экран вокруг них. Чувавительный элемент образован в области пересечения электродов На пироэлектрический слой 2 нанесен второй экран 8. охватывающий с зазором по контуру...

 Изобретение позволяет повысить надежность и снизить стоимость тонкопленочных датчиков давления, работающих в аэродинамических установках, акустических и реверберационных камерах. Надежность датчика повышается за счет увеличения модуля упругости полиимидной подложки и применения общего защитного экрана 2. Для получения "недеформируемой" подложки 1 материал подложки подвергают механической...