СЕВЕРЮХИНА ЛЮДМИЛА ИВАНОВНА

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении СВЧ-схем. Цель изобретения - повьшение стабильности электрических характеристик. Способ изготовления микросхем на диэлектрической подложке включает формирование токнопленочных резисторов, нанесение структуры х ром-медь, формирование фоторезистивной маски в виде негативного изображения проводник...