ГАСАНОВ АСКЕР АДИЛЬХАН ОГЛЫ

  Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления полупроводниковых интегральных измерителей деформации. (Целью изобретения является уменьшение времени изготовления и повьшение надежности за счет уменьше1шя дефектов и напряжений в полупроводниковой пластине. Цель достигается тем, что операцию получения резисторов проводят в едином цикле за счет...