ГАМАЮНОВА ЛЮБОВЬ АЛЕКСАНДРОВНА

  Изобретение может быть использовано для изучения физико-химических процессов на поверхности и в объеме твёрдых тел, в частности, в микроэлектронике и полупроводниковой промьшшенностй. Целью изобретения является упрощение конструкции, экономии материалов и электроэнергии, что достигается измерением угловых зависимостей при неподвижных источнике первичных ионов и анализаторе вторич...

  Использование: радиоэлектроника, микроэлектроника и физхимия поверхности . Сущность изобретения: площадь отверстия для помещения исследуемого кристалла St, площадь выходной диафрагмы системы формирования пучка первичных ионов За и площадь входной диафрагмы системы сбора вторичных ионов Зз связаны соотношением . Это позволяет сохранить условия выбивания и сбора вторичных ионов, ис...