СОБОЛЕВ АЛЕКСАНДР ЮЗЕФОВИЧ

  Изобретение может быть использовано для изучения физико-химических процессов на поверхности и в объеме твёрдых тел, в частности, в микроэлектронике и полупроводниковой промьшшенностй. Целью изобретения является упрощение конструкции, экономии материалов и электроэнергии, что достигается измерением угловых зависимостей при неподвижных источнике первичных ионов и анализаторе вторич...