Мозжухин Д.Д.

  Изобретение касается аналитической химии, в частности определения количества алкилфенолформальдегидных щелочерастворимых смол в составе полимерной основы фоторезистов, что может быть использовано в микроэлектронике. Анализ ведут определением скорости растворения слоя смолы на подложке в водно-щелочном растворе проявителя и расчетом содержания каждой смолы по формулам C1= [(lgV-lgV2):(lgV...