ТАРАСЕНКО НИКОЛАЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме ,в частности, к устройствам подачи и регулирования натекания газа в вакуумную камеру. Цель изобретения - расширение области применения. В программном регуляторе расхода последовательно установленны связанные с исполнительным блоком 1 первый регулируемый дроссель 5, электропневмоклапан 7, второй регулируемый дроссель 6 и пневмокл...