МАНЬКОВСКИЙ СЕРГЕЙ ВАЛЕРИЕВИЧ

  Изобретение относится к области технической физики и может быть использовано для исследования поверхностей путем анализа упруго рассеянных ионов по энергиям и углам разлета. Целью изобретения является повышение разрешающей способности. Поставленная цель достигается тем, что рассеянный образцом пучок ионов после электроанализа в квазисферическом четырехсеточном анализаторе 6,7,8,9...