Добровичан П.П.

 Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении кремниевых структур с диэлектрической изоляцией компонентов интегральных схем. Цель изобретения - уменьшение трудоемкости изготовления структур путем формирования участков монокремния различной толщины однократным травлением и повышение выхода годных структур путем устранения операции фотолитогр...