ФРАНСУА ЖИРАРД

  Изобретение относится к источникам ионов, основанных на принципе поверхностной ионизации, и может быть использовано в электронной технологии. Целью изобретения является повышение яркости источника. Источник содержит систему подачи паров ионизируемого вещества и ионизатор. Ионизатор выполнен в виде набора элементов. В одном из элементов выполнена центральная часть 11, являющаяся эм...