ДЕОМИДОВ ДМИТРИЙ АРКАДЬЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения формы поверхности полированных подложек в электронной технике и для контроля оптических элементов. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет обеспечения помехозащищенности. При освещении эталонной сетки 1, расположенной вблизи фокальной плоскости 2 объектива 3, на плоской эталонно...