Рубан Г.И.

 Изобретение может быть использовано для получения активных и пассивных слоев методом термического испарения материала в вакууме. Цель изобретения - улучшение качества покрытия и увеличение коэффициента использования материала покрытия. Устройство содержит подложкодержатель 1, испаритель 3, установленный напротив него, формирователь 4 потока пара, выполненный в виде коаксиально расположенн...

 Способ получения пленок металлооксидных высокотемпературных сверхпроводников относится к технологии пленочной микроэлектроники и может быть использован в производстве больших и сверхбольших интегральных схем для получения элементов с применением сверхпроводящих эффектов, в частности СКВИДов. Цель изобретения - уменьшение качества пленок за счет уменьшения их шероховатости и повышение одно...