ПАВЛЕНКО ЮРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а именно к изготовлению твердых источников диффузии бора. Цель - упрощение процесса диффузии за счет повышения окисляемости источника. Способ изготовления твердого источника включает приготовление диффузанта из смеси, содержащей, масс.%: нитрид бора 5-35 окись алюминия 5-35 свинцовый сурик 1,5-2,5 глицерин 30-60 вода 5...