Веселова В.Г.

 Изобретение относится к электронной технике, а именно к полупроводниковой и гибридной технологиям, и может быть использовано при формировании рисунка схемы методом фотолитографии. Цель изобретения - улучшение качества травления за счет повышения его равномерности. В раствор для травления антимонида индия, включающий органическую кислоту, перекись водорода и азотную кислоту, дополнительно...

 Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов. Цель - повышение качества очистки поверхности. Состав для очистки поверхности антимонида индия включает, мас.%: оксиэтилированный моноалкилфенол формулы RC6H4O(CH2C2H4O)nH, где n = 9 - 12, в количестве 0,18 - 0,22, гексаметафосфат натрия 0,65 - 0,85, вода до 100. Сост...

 Изобретение относится к микроэлектронике. Цель изобретения - повышение надежности схем за счет исключения коротких замыканий между проводниками. На диэлектрической подложке формируют методом вакуумного напыления проводники первого уровня. Затем на поверхность подложки наносят слой фоторезиста толщиной 0,9 - 1,1 мкм и в нем формируют межслойные переходы. На поверхность фоторезиста наносят...