Слесарева А.М.

 Изобретение относится к электронной технике, а именно к полупроводниковой и гибридной технологиям, и может быть использовано при формировании рисунка схемы методом фотолитографии. Цель изобретения - улучшение качества травления за счет повышения его равномерности. В раствор для травления антимонида индия, включающий органическую кислоту, перекись водорода и азотную кислоту, дополнительно...

 Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов. Цель - повышение качества очистки поверхности. Состав для очистки поверхности антимонида индия включает, мас.%: оксиэтилированный моноалкилфенол формулы RC6H4O(CH2C2H4O)nH, где n = 9 - 12, в количестве 0,18 - 0,22, гексаметафосфат натрия 0,65 - 0,85, вода до 100. Сост...