ПОЛЯНСКАЯ ВАЛЕНТИНА ПЕТРОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучен...