PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Черемхина И.В.

Изобретатель Черемхина И.В. является автором следующих патентов:

Способ изготовления интегральных схем

Способ изготовления интегральных схем

  Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления интегральных полупроводниковых приборов. Целью изобретения является увеличение степени интеграции и быстродействия интегральных схем. Последовательно наносят на поверхность полупроводниковой подложки первый слой поликристаллического кремния, первый слой окисла кремния. Проводят первую фотолитографию с травлением...

1489496