ШУЛАЕВ ВАЛЕРИЙ МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к росту кристаллов, конкретно - к получению эпитаксиальных пленок оксидов металлов, обладающих стабильностью термоэлектрических свойств при высоких температурах, и позволяет повысить термическую устойчивость пленок за счет улучшения их структуры до эпитаксиальной. Ниобий испаряют в атмосфере кислорода при давлении 1.10<SP POS="POST">-5</SP> - 3.10...