АУБАКИРОВ Р.Г.

  Изобретение может быть использовано, в частности, в приборостроении и электронике при нанесении покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий. Цель изобретения - повышение равномерности покрытий по длине изделий с отношением длины к диаметру от 2:1 до 20:1, для чего испарение и осаждение паров осуществляют циклически при достижении степени ионизации потока 5 -10 -10 и с...

  Изобретение относится к электронной технике и может быть нспольэовано в технологии тонких пленок. Цель изобретения - повышение качества покрытия за счет увеличения электрического сопротивления и уменьшения неравномерности по толщине. На подложку воздействуют потоком высокочастотной плазмы аргонового разряда, при этом в центральную часть разряда вводят испаряемый электроизоляционн...