Белохвостикова Л.С.

 Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способу изоляции монолитных интегральных схем путем протонной бомбаридовки. Цель изобретения - повышение выхода годных изделий путем улучшения электрических параметров транзисторов. Это достигается тем, что в способе изготовления арсенид-галлиевой монолитной интегральной схемы, включающем создание изоляции активных областей прото...