Дединец В.Е.

 Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способу изоляции монолитных интегральных схем путем протонной бомбаридовки. Цель изобретения - повышение выхода годных изделий путем улучшения электрических параметров транзисторов. Это достигается тем, что в способе изготовления арсенид-галлиевой монолитной интегральной схемы, включающем создание изоляции активных областей прото...

  Использование: тестирование микросхем на пластине. Сущность изобретения: устройство содержит зонды, соединенные коаксиальными кабелями с электронными блоками. Зонды соаоят из металлической и диэлектрической оболочек с то^ копроводящим центральным аержнем. На оконечной части оболочек выполнено сужение, длина которого определяется соотношением Lsx /Ю. где L - длина сужения <V...