РАИТКИН ВИТАЛИЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к области химии ,в частности, к устройствам контроля толщины снимаемого слоя и фактора травления в процессе размерного химического травления деталей. Цель изобретения - повышение точности контроля путем дискретного фиксирования фактора травления - отношения величины подтрава под защитное покрытие к глубине травления. Принцип действия устройства основан на вве...