Куфирин А.Б.

 Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме, в частности способов изготовления мишеней для магнетронного распыления, и может быть использовано для металлизации изделий электронной техники. Цель изобретения - упрощение процесса изготовления мишени и повышение его производительности - достигается путем использования энергии магнетронного разряда на процесс расплавления распыляемого ко...