ШАБЕЛЬНИКОВ ЛЕОНИД ГРИГОРЬЕВИЧ

  Изобретение относится к способам рентгеновского контроля качества материалов и может быть использовано в различных отраслях промышленности. Цель изобретения - повышение чувствительности к обнаружению включений в объеме. На контролируемый объект направляют узкий коллимированный пучок рентгеновских лучей, выводят объект в отражающее положение для выбранного отражения HKL и выделяют...

  Изобретение относится к способам рентгеновского контроля качества материалов в виде тонких пленок и может быть использовано в различных отраслях промышленности, связанных с получением тонких пленок, в том числе в микроэлектронике. Способ включает формирование падающего пучка от линейчатого источника системой щелей, ориентацию на гониометре подложки с пленкой под малым (преимуществ...