РУМАС ВЛАДИМИР КОНСТАНТИНОВИЧ

  Устройство к технологии радиоаппаратостроения, а именно к устройствам для обнаружения дефектов поверхностей ,в частности, к аппаратуре неразрушающего контроля качества планарных структур, к которым относятся незагерметизированные дискретные и интегральные полупроводниковые структуры, фотошаблоны. Позволяет выявлять аномалии и дефекты топологии и может быть использовано при межопер...