ВЕТОШКИН В.М.

  Изобретение относится к области технологии изготовления приборов оп тоэлектроники, а именно к способам получения пленок на основе оксидов индия и олова для тоякоЛпеночных электролюминесцентньпс и жидкокрис таллических. индикаторных панелей. Цель изобретения - улучшение электричес1шх характеристик плеуок и расширение номенклатуры используемых материалов подложки. Методом магнетрон...