ЛУЦКИЙ И.Ю.

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в произ водстве МОП БИС и СБИС. Цель изобретения - повышение надежности интегральных схем и повышение точности воспроизведения размеров их элементов. На кремниевой подложке локальным окислением формируют слой окиси кремния толщиИзобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве МОП Б...