Абатуров М.А.

  Изобретение относится к неразрушающим методам исследования физико химических свойств материалов, в частности полупроводников. Цель изобретения повышение точности и разрешающей способности измерения профиля, обеспечение возможности исследования высокоомных полупроводников и упрощение способа. Согласно изобретению на контакт полупроводника с металлом или электролитом налагают амплитудно мо...