АДАМЯН ОГАНЕС АЛЕШАЕВИЧ

  Изобретение относится к экспрессному контролю качества поверхностного состояния твердых тел и позволяет повысить точность определения энергии ионизации и сократить время измерения тех же параметров. Для этого измеряют вольт-амперные характеристики при двух различных скоростях развертки, обеспечивающих регистрацию максимума нестационарного разрядного тока, регистрируют потенциал по...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в твердотельной электронике для измерения толщины диэлектрического слоя на поверхности полупроводника. Цель изобретения - повышение точности измерения толщины диэлектрического слоя, удовлетворяющего соотношению ΔD/D≤0,01, где D - толщина контролируемого слоя ΔD - отклонение толщины от номинально...