PatentDB.ru — поиск по патентным документам

САМОЙЛИДИ Н.П.

Изобретатель САМОЙЛИДИ Н.П. является автором следующих патентов:

Способ совмещения рисунка маски с рисунком подложки

Способ совмещения рисунка маски с рисунком подложки

  Изобретение относится к технологии рентгенолитографии в процессе производства полупроводниковых приборов. Цель изобретения - упрощение процесса. На подложке формируются метки в виде многослойной структуры. Она состоит из чередующихся полупроводниковых слоев противоположного типа проводимости или чередующихся проводящих и непроводящих слоев. Подложку облучают рентгеновским излучен...

1501759

Устройство для совмещения проводящего рисунка на маске с рисунком подложки

Устройство для совмещения проводящего рисунка на маске с рисунком подложки

  Изобретение относится к технике полупроводникового производства, в частности к рентгенолитографии, и предназначено для использования в установках для совмещения рисунка на маске с рисунком на подложке и экспонирования. Цель изобретения - повышение точности совмещения рисунков топологических слоев на подложке - достигается путем уменьшения погрешности установления рабочих поверхно...

1611158