ТИТОВА ЛАРИСА ПАВЛОВНА

  Изобретение относится к вакуумной технике и может найти применение для измерения давления практически любых газов в диапазоне 10<SP POS="POST">-3</SP> - 10<SP POS="POST">-5</SP>Па. Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых давлений. При выполнении геометрических параметров датчика по представленному соотношению верхний предел измерения датчика расш...