СУБОРКИН ВЛАДИМИР ФЕДОРОВИЧ

  Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить производительность испытаний. Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, диффузионный насос 6, адсорбционный насос 8, масс-спектрометрическую камеру 10 и механический насос 14. Входная магистраль 4 соединена с входом механического насоса 14 и выходом...