ПАНЬКОВ ВАЛЕНТИН ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к специальному технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов. Изобретение может быть использовано в электротехнической и электронной промышленности. Цель изобретения - снижение металлоемкости, энергоемкости, упрощение конструкции, уменьшение габаритов, повышение производительности труда. Автомат герметизации полупроводниковых прибо...