Полисан Андрей Андреевич

 Изобретение относится к технологии нанесения пленок и может быть использовано для изготовления тонкоплепочных кремниевых солнечных элементов, фоточувствительных материалов для оптических сенсоров и тонкопленочных транзисторов большеразмерных дисплеев. Способ осаждения пленок гидрогенизированного кремния заключается в том, что рабочий газ из источника подают в вакуумную камеру для создания...