Кашников Б.П.

 Изобретение относится к отжигу полупроводниковых пластин и может быть использовано в технологических линиях по изготовлению приборов. Цель изобретения - повышение качества отжига полупроводниковых пластин большого диаметра (60 мм и более). Устройство выполнено в виде импульсного вакуумного диода с катодом, состоящим из искровых источников плазмы (анодом и сеткой) и содержит высоковольтный...