УСТИМЕНКО ЛИДИЯ ВЛАДИМИРОВНА

  Изобретение относится к составам, применяемым в микроэлектронной технике преимущественно для покрытия гранатовых структур, в частности для консервации гадолиниево-галлиевых гранатовых подложек и феррит-гранатовых эпитаксиальных пленок. Изобретение позволяет повысить эластичность, улучшить съемность покрытия, а также наносить состав на поверхность материала гранатовой структуры и п...