Захаров Ю.М.

  Изобретение относится к оборудованию для получения неорганических покрытий осаждением из паровой (газовой) фазы. Цель изобретения - повышение качества и производительности при нанесении покрытий на изделия цилиндрической формы. Покрываемые изделия 36 укладывают на опорные дорожки 28 съемной рамки 9 между штырями 33. Ограничитель 34 и 35 исключают возможность осевого смещения изделий 36....