ЗОНИН ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ

  Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых чувствительных элементов с высокими метрологическими характеристиками и может быть использовано для изготовления газочувствительных полупроводниковых элементов, а также в смежных областях техники, таких как производство печатных плат и микрокомпрессоров и конденсаторов. Цель изобретения - увеличение скорости изготов...