Заболотская Н.И.

  Изобретение относится к механической обработке и может быть использовано при химико-механическом полировании пластин из кремния и других твердых материалов. Целью изобретения является повышение качества обработки за счет стабилизации процесса полирования. Кассету с деталями располагают на полировальнике со смещением от оси вращения полировальника таким образом, чтобы скорость наиболее уд...

 Изобретение относится к полупроводниковой технике, а точнее, к односторонней шлифовке полупроводниковых пластин. Устройство содержит доводочный диск с приводом вращения, установленным в корпусе устройства, спутники для наклейки пластин, средство для размещения спутников на доводочном диске, прижимной диск для нагружения пластин, соосно установленный с указанным средством, ось которого сме...