ПОДОЛЬСКИЙ ВЛАДИМИР АНТОНОВИЧ

  Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем, в частности к устройствам для обработки изделий электронной техники в жидкостях, является усовершенствованием авт. св. N 819231 и позволяет улучшить качество перемешивания за счет расширения диапазона колебаний и интенсификации перемешивания жидкостей в вертикальной плоскости. Гибкие полые элементы выполнены с пере...