ГЕРМОГЕНОВ ВАЛЕРИЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения высоких давлений жидкостей и газов. Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения температурного сопротивления пьезорезистора. Пьезорезистор сформирован эпитаксиальным методом в виде монокристаллического слоя 3 твердого раствора AL<SB POS="POST">X</SB>GA<SB POS="PO...