АЙДАРОВ ВАЛЕРИЙ МИКТЕБГАЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме. Целью изобретения является расширение области применения устройства путем увеличения числа подаваемых газов и обеспечения регулирования их соотношения в смеси. Для этого устройство содержит сумматор и задатчики парциального давления газов, выходы которых подключены к входам компараторов напряжения и инвертирующему входу...