ХОПВУД Джеффри А. (US)

 Изобретения могут быть использованы при получении высококачественных пленок алмазоподобного углерода на частично ограниченных поверхностях или поверхностях с высокой степенью угловатости путем химического осаждения из паровой фазы. В среде газообразного углеводорода генерируют плазму и осуществляют воздействие на подложку. Используют плазму с плотностью электронов не выше 5х1010 на 1 см3...