Гармаш Я.Я.

 Изобретение может быть использовано, в частности, в электронике для жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин (ППП). Цель - повышение качества обработки ППП достигается тем, что в линии поворотные носители выполнены в виде ротора с горизонтально расположенным центральным валом 9 с цапфами 10, лысками для фиксации от поворота и парой торцовых зубчатых дисков (ТЗД) с венцом...