КАРСАНОВ АЛЕКСАНДР ФЕДОРОВИЧ

  Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей, в частности полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повышение точности обработки пластин свободным абразивом за счет устранения тепловых деформаций полировальника. Устройство содержит карусель и шпиндели с прижимными головками. К...