КАРСАНОВ АЛЕКСАНДР ФЕДОРОВИЧ
Изобретатель КАРСАНОВ АЛЕКСАНДР ФЕДОРОВИЧ является автором следующих патентов:
Устройство для обработки плоских поверхностей
Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей, в частности полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повышение точности обработки пластин свободным абразивом за счет устранения тепловых деформаций полировальника. Устройство содержит карусель и шпиндели с прижимными головками. К...
1526962