Низамеева А.Г.

 Использование: в электронной технике при изготовлении интегральных схем СВЧ. Техническим результатом изобретения является упрощение технологического процесса изготовления интегральных схем, снижение трудоемкости и осуществление возможности изготовления мощных интегральных схем при сохранении высокой разрешающей способности при изготовлении топологического рисунка. Сущность изобретения: пр...