ИЛЬИНОВ МИХАИЛ СТЕПАНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения локальных электрофизических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет увеличения точности воспроизведения площади ртутного контакта. Для этого исключают влияние различного заполнения объема с ртутью на изменение услови...